氣體的監測和分析是檢查氣體質量、確保用氣點或用氣設備能所用高純氣體的重要手段，也是保證安全生產的重要措施。高純氣體的監測與分析，只有采用先進的分析方法和精密的分析儀器，才能獲得精i確的分析數據。氣體監測和分析的重要性隨著晶片的幾何結構縮小，集成電路集成度的不斷提高，即使有極微量的氣態雜質的沾污和的塵埃污染，也會給生產帶來嚴重的破壞性。
一般工業氣體產銷量大，但對純度要求不高。特種氣體產銷量雖小，但根據不同的用途，對不同特種氣體的純度或組成、有害雜質允許的i高含量、產品的包裝貯運等都有極其嚴格的要求，屬于高技術，高附加值產品。通常，可以將特種氣體分為三類，即高純或超高純氣體、標準校正氣體和具有特定組成的混合氣體。因為氣體產品的應用覆蓋面大，一般將氣體的生產和供應與供電、供水一樣，作為工業投資環境的基礎設施，被視為國民經濟“命脈”而列為公用事業行業。
氣體我們都知道，但是具體的我們卻說不出來，由于氣體分為單質氣體、多元氣體、混合氣體和有機化合物氣體等，所以可將組成氣體的物質（或元素）稱為該氣體成分。因此氣體純度的含意可理解為：除本氣體成份外，所含其它物質的多少。工業氣體是商業制造，出賣作其他應用氣體，它們是有機物或無機物。有空氣分離，提取或化學合成；而采用液體、氣體或者固體各種形態。
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